(1)在金屬鈍化中的應用氫氟酸和硝酸配合用于鑄銅的浸蝕,特別是含硅較高的銅,如果不添加一定量的氫氟酸,這些銅材經化學處理后表面的黑灰很難去除,但氫氟酸用量不易過高,否則會使一些高硅銅的表層結構疏松而影響下一步的處理。氫氟酸和硝酸配合也用于鑄造銅的鈍化。氫氟酸也用于配難溶金屬的清洗。
(2)在化學蝕刻中的應用氫氟酸是硅及銅的唯一可采用的蝕刻劑,對硅的蝕刻主要用于各種集成電路及各種半導體芯片的制作。在化學蝕刻過程中,一般都不會單獨采用氫氟酸進行,都會根據需要添加一些旨在改善其蝕刻性能和蝕刻質量的第二或第三物質。
氫氟酸對金屬的腐蝕性極強,通常表現為嚴重的均勻腐蝕,生成可溶性的氟化物,只有少數金屬在室溫下能生成較難溶的氟化物。
氫氟酸主要用來對銅及合金及難溶高合金鋼的化學腐蝕,是銅及半導體加工中硅晶片的唯一腐蝕劑。但如單獨用氫氟酸對銅合金進行腐蝕加工,會使銅合金吸收大量的氫而產生不可逆轉的氫脆,所以在實際應用中,都是和硝酸、CrO3等氧化性酸配合使用。